1|Diskussion om aluminiumoxid og dets anvendelser Alumina-keramik er på grund af deres isolering, høje-temperaturbestandighed, slidstyrke, korrosionsbestandighed og høj kemisk stabilitet meget udbredt inden for områder som halvledere, ny energi og high-elektronik. Især aluminiumoxidkeramik kan godt tilpasse sig ekstreme miljøer som vakuum og høje temperaturer, hvilket gør dem velegnede som råmaterialer til proceskomponenter i halvlederudstyr. At have fremragende materialer alene er langt fra tilstrækkeligt; disse materialer kræver også fremragende behandlingsteknikker i-avanceret udstyr eller processer for fuldt ud at realisere deres egenskaber og opnå større gennembrud inden for præcisionsfremstilling. For eksempel har gasdyser, der bruges i halvlederudstyr, brug for en stærk korrosionsbestandighed, generelt opnået med aluminiumoxidkeramiske materialer. For at give dysen mulighed for at opnå optimal kontrolydelse, kræves der præcis mikro-hulbehandlingsteknologi for at skabe en god mikro-hulstruktur, der muliggør nøjagtig kontrol af gas-/væskestrømningshastighed og volumen. Derfor er forholdet mellem aluminiumoxid og gode forarbejdningsteknikker gensidigt forstærkende.
2| Diskuter behandling af aluminiumoxidmikroporer Keramisk behandling har altid været en udfordring. For det første er det et hårdt og skørt materiale; Brug af traditionelle mekaniske boremetoder forårsager let mikro-revner og skår, hvilket gør udbyttet svært at sikre. For det andet er det et isolerende materiale og ikke-ledende, så høj-elektrisk udladningsbearbejdning kan ikke bruges. Før fremkomsten af femtosekund-lasere var det en vanskelig opgave at opnå høj-præcision og høj-kvalitetsbehandling af aluminiumoxid-keramiske mikroporer. Når det er sagt, hvordan kan høj præcision og høj kvalitet evalueres? Med andre ord, hvordan vurderer vi, om indikatorerne for mikroporebehandling er gode eller dårlige? Jeg tror, der er to aspekter: mikroporestørrelse og mikroporemorfologi.
1. Mikroporestørrelse omfatter: huldiameter og dets nøjagtighed, rundhed, tilspidsning osv. Disse tre indikatorer afspejler primært mikroporens tre-dimensionelle størrelse, mens nøjagtigheden repræsenterer afvigelsen mellem den ideelle værdi og den faktiske værdi, der kan opnås med behandlingsteknologien.
2. Mikroporemorfologi omfatter: overflademorfologi og sidevægsmorfologi. Disse to indikatorer undersøger hovedsageligt, om hullets indgang og indervæg har et gen-smeltelag, skår, stænk, revner eller overfladeglathed. Disse indikatorer påvirker indtrængning af lysstråler, gasser og væsker og påvirker også produktets pålidelighed og levetid.
3| Diskussion af femtosekundlaserbehandling af aluminiumoxid Femtosekundlaser, som en banebrydende-mikrohulbehandlingsteknologi, viser betydelige fordele ved behandling af aluminiumoxid. Med sin ultra-korte pulsbredde og ekstremt høje spidseffekt kan den fjerne ethvert fast materiale uden at passere gennem en smeltet tilstand. Sammen med dens fingravering i mikrometer-skala er mikrohullerne meget præcise med fremragende rundhed. Desuden forhindrer den kolde behandling af femtosekund-lasere dannelsen af omstøbte lag, mikrorevner på overfladen eller indervæggene af aluminiumoxid og forårsager ikke gulning eller sortfarvning af materialet. Med andre ord, uanset bearbejdningsmetoden eller sammensætningsforholdet af aluminiumoxidkeramik, kan femtosekundlasere opnå ultra-høj præcision, høj-kvalitets mikrohulbehandling. I øjeblikket kan femtosekundlasere opnå mikrohulbehandling med en minimumsdiameter på 0,02 mm (tykkelse 0,2 mm) og nøjagtighed inden for ±1 μm. Kender du til andre teknologier, der kan opnå en sådan mikrohulbehandling?









