Som vi alle ved, er der kun én producent i verden, der kan producere EUV-litografi, det erHollands ASML.
Grunden til, at der kun er én producent i verden, er, at ASML har bundet mange nøgleproducenter sammen, såsom Zeiss (Zeiss), et tysk optikfirma, Cymer (USA), ogTRUMPF (Tyskland).
ASML har bundet disse producenter til sin vogn gennem investering, opkøb, aktiebesiddelse, etablering af forskningscentre og så videre, og disse producenter er sandsynligvis de eneste producenter i verden, der kan producere disse produkter, så i sidste ende kan kun ASML i verden producere EUV litografi.
Men for nylig løb en nøgleforsyningskæde af ASML til Shenzhen, Kina for at bygge en fabrik, dets Shenzhen-datterselskab slog sig ned i Baoan Sino-German (Europa) Industrial Demonstration Park.
Denne producent er Tysklands TRUMPF Group (TRUMPF), det er ASMLs EUV litografi, verdens eneste laserkildeleverandør.
TRUMPF-produkter i EUV-litografien, hvor vigtigt? Først, lyt til mig forklare princippet om EUV litografi, vil du forstå.
Princippet for EUV litografi, for at sige det enkelt, er centreret om tre hovedsystemer, EUV ultraviolet lyskildesystemet, objektivspejlsystemet og bordsystemet.
Den specifikke proces er at bruge en laser til at excitere en 13,5 nm bølgelængde af ekstremt ultraviolet lys, som derefter korrigeres til at danne en kontrolleret lysstråle, som derefter projiceres på et fotomaskebord, før det projiceres gennem et objektivspejl på et eksponeringsbord og til sidst ætset ind i et kredsløb på en siliciumwafer belagt med fotoresist.
Hvordan et af EUV UV lyskildesystemerne opnås ved at bombardere en tin (Sn) metaldråbe med en 30 kW effekt CO2 laser, fordampe den til et plasma og til sidst opnå EUV lys ved 13,5 nm bølgelængde.
Denne 30 kW CO2-laser er leveret af TRUMPF, den eneste i verden.
Undervurder ikke denne CO2-laser, den har 457.329 dele, kabellængden i systemet er op til 7.322 meter, og vægten er 17.090 kg, hvilket er en af de vigtigste kernekomponenter i EUV-litografi.
Nu TRUMPF løb til Kina for at bygge en fabrik, intentionen er klar, det vil sige optimistisk om det kinesiske lasermarked, og endnu mere langsigtet syn, optimistisk om det kinesiske litografimarked, kan fremtiden samarbejde med Kina om at bygge EUV litografi .
Faktisk er der allerede mere end én ASML-forsyningskæde, der kører til Kina for at bygge en fabrik, der er KMWE og andre producenter, også til Kina for at bygge en fabrik.
Ifølge den nuværende tendens, kan vi optimistisk forvente, at det ikke kan vare længe, før Kinas litografiteknologi vil være et stort skridt fremad, og selv mængden af output EUV litografi, kan også se frem til, tror du?
