For nylig har Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology fra det kinesiske videnskabsakademi udviklet et højtydende MEMS-hurtigt-reflekterende spejl med integrerede vinkelsensorer . spejlet har en stor størrelse, en lille pakkevolumen, fremragende ydelse og stort potentiale i laser-satellitkommunikation {{} 3}}}
Det hurtigt reflekterende spejl tog næsten fem år at udvikle . Det vedtager dobbeltlags heterogen integration og bondingsteknologi på wafer-niveau, og dens volumen er kun størrelsen på et 1- yuan-mønt .
Det overvinder de tekniske flaskehalse af traditionelle mekaniske hurtigreflekterende spejle og originale MEMS-hurtigt reflekterende spejle, hvilket skaber et pladskvalitetsprodukt med en pegernøjagtighed af μRAD, der opfylder de ultrahøje ydeevneindikatorer for satellitbårne applikationer .}
Inspireret af mobiltelefonskærmen brugte teamet Silicon Piezoresistive-stammeprincippet til at integrere on-chip vinkelsensorer, og gennem strukturel innovation blev følsomheden forøget med 63%, hvilket optimerede nøjagtigheden af strålekontrol .
Testresultaterne viser, at vinkelnøjagtigheden ved en bestemt frekvens opfylder standarden, og den maksimale dynamiske overfladedeformation er kun 2 nanometer .
Tjenestemanden lavede en analogi, der svarer til alle op- og nedture på et spejl på størrelse med en fodboldbane, der ikke overstiger diameteren af et hår, opfylder de strenge krav til langdistancesatellitlaserkommunikation på spejloverfladen .
