Ifølge substratmaterialets egenskaber, nøjagtigheden af underlagets overflade, overflade ruheden og typerne af partikler forurenende stoffer kan de nuværende laserrensningsmetoder opdeles i følgende to kategorier.
1) Laser renseri metode. Laser direkte bestråler overfladen af objektet, forurener partiklerne eller absorberer energi på overfladen, og derefter gør partiklerne forlade overfladen ved termisk diffusion, foto nedbrydning og forgasning.
2) Laser våd rengøring metode. Spray nogle uforurenede væske (hovedsagelig vand, undertiden alkohol) på overfladen af det materiale, der skal rengøres, og derefter bestråle det med laser. Efter at have absorberet laserenergien vil det flydende medium producere eksplosiv fordampning og skubbe forureningspartiklerne omkring den væk fra materialeoverfladen. Desuden er den såkaldte laserblandingsrensningsmetode blevet foreslået. Laserenergien absorberes af substratet materiale, og derefter adsorberes mellemliggende medium opvarmes ved termisk konvektion, og det mellemliggende medium producerer eksplosiv fordampning. Drevet af høj luftstrøm adskilles partiklerne fra underlagets overflade sammen med mellemmediet.
